硅微粉的制备——热分解法

文章来源：https://www.hayond.cn 发布时间：2022-05-18 浏览次数：55

硅微粉的热分解法又分为两种：即三氯氢硅热分解法，采用蒸溜和化学提纯的方法对三氯氢硅进行预处理，约在950℃左右三氯氢硅开始热解。可形成块状或棒状的硅微粉、四氯化硅与氢气。此法所制得单晶质量不高，受反应器和产品处理沾污影响而导致多晶质量亦不理想，生产设备不如三氯氢硅氢还原法简单。而四碘化硅热分解法则是先将四碘化硅重结晶后用蒸馏法提纯，然后四碘化硅在1000℃左右热分解，升华区溶得到棒状、块状或针状硅。此法对原料的提纯比较有效，Al、In、Ga、B、Bi;等的碘化物均较碘化硅安定，故很容易从硅微粉中分离掉这些杂质;但是P、As、Sb等的碘化物较易分解，要从硅微粉中除去是困难的，所以在采用碘化法提纯硅时，在碘化之前必需要用其他方法尽量除去后列的杂质。但碘的消耗量大，回收困难;同时，过程复杂，实收率低，成本高，原料与产品的重量比较大。因此该法较多为碘资源丰富国家采用。